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真空系統(tǒng)中的流量計(jì)（更準(zhǔn)確稱為?氣體流量計(jì)?或?質(zhì)量流量計(jì)?）是用來測(cè)量?在低壓（真空）條件下流過管道的氣體質(zhì)量流量?的儀器。這與測(cè)量體積流量的正壓流量計(jì)不同，真空應(yīng)用的流量測(cè)量更具挑戰(zhàn)性。
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是利用熱擴(kuò)散原理測(cè)量氣體流量的儀表。傳感器由兩個(gè)基準(zhǔn)級(jí)熱電阻(RTD)組成。一個(gè)是速度傳感器RH，一個(gè)是測(cè)量氣體溫度變化的溫度傳感器 RMG。當(dāng)這兩個(gè)RTD置于被測(cè)氣體中時(shí)，其中傳感器RH被加熱，另一個(gè)傳感器RMG 用于感應(yīng)被測(cè)氣體溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降。
